电解臭氧水・氢水制造装置
特征
- 可同时或单独发挥臭氧水、氢水制造装置的优势
- 通过紧凑化设计,以低成本实现2个功能
- 可灵活地调节流量、浓度
电解臭氧水–氢水制造装置工作流程

标准模型数据
| 机型名称 |
臭氧水
浓度
(mg/L) |
臭氧水
流量
(L/min.) |
氢水
浓度
(mg/L) |
氢水
流量
(L/min.) |
外形尺寸
(宽度×长度×高度mm) |
质量
(kg) |
电源容量
(kVA) |
| POHW-101010-S |
10 |
10 |
>1 |
10 |
900 ×1,000 ×1,900 |
650 |
5.4
(3φ AC200V) |
| POW-201010-S |
20 |
10 |
>1 |
10 |
900 ×1,000 ×1,900 |
700 |
11.9
(3φ AC200V) |
应用
- 电力(电压、频率的确认)
- 纯水(17MΩ・cm以上的超纯水。水温25℃以下。溶解氧气浓度500ppb以下。所含过氧化氢浓度50ppb以下)
- 冷却水(23℃±3℃)
- 调节用空气(0.5~0.7MPa)
- 排气管
- 排水管道(自然下落 或,强制排放)
选配
- 臭氧水增压单元
- 药剂注入单元
型号标记

- 电解臭氧水制造装置(POHW)
- 臭氧水浓度 例:10mg/L→10、20mg/L→20、
- 臭氧水流量 例:10L/min.→10、20L/min.→20、
- 氢水流量 例:10L/min.→10、70L/min.→70、
- 半导体制造装置等级(S)
- 不带钢印→标准、P→增压泵内置
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