水处理技术 / 环境负荷降低技术 氯工程株式会社

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电解臭氧水制造装置

特征

电解臭氧水制造装置
  • 采用基于放电式的、环保的超纯水电解方式的臭氧水制造原理
  • 还可制造100mg/L以上的高浓度臭氧水、流量80L/min以上的臭氧水。
  • 臭氧水浓度、流量可根据顾客需求调节
  • 建议间歇式清洗机采用高浓度/大流量的臭氧水、单片式清洗机采用高浓度/小流量，连续喷水式采用低浓度/大流量
  • 紧凑、节省空间的设计
  • 通过高压臭氧发生器与增压泵的组合实现高喷压
  • 在开始运行后3分钟内能够快速启动

用途

  1. 硅片制造领域: AP前清洗、离子注入前清洗、平展化后清洗、纯水杀菌
  2. 半导体制造领域: 硅片接货清洗、成膜前清洗、除去抗蚀剂残渣、除去抗蚀剂、纯水管道杀菌、CMP后清洗
  3. LCD制造领域: 玻璃基板接货清洗、成膜前清洗、纯水管道杀菌

电解式臭氧水制造装置工作流程

电解式臭氧水制造装置工作流程

标准模型数据

机型名称 臭氧水
浓度
（mg/L）		 臭氧水
流量
（L/min.）		 外形尺寸
（宽度×长度×高度mm）		 质量
（kg）		 电源容量
（kVA）		 二氧化
碳加添
POW-2010-S 20 10 900×1,000×1,900 650 11.9(3φAC200V) 有/無
POW-6005-S-C 60 5 900×1,000×1,900 700 12(3φAC200V) 有
POW-10005-SP-C 100 5 1,300×1,300×1,900 1,200 17.1(3φAC200V) 有

应用

  1. 电力（电压、频率的确认）
  2. 纯水（17MΩ・cm以上的超纯水。水温25℃以下。所含过氧化氢浓度50ppb以下）
  3. 冷却水（23℃±3℃）
  4. 调节用空气（0.5～0.7MPa）
  5. 热排气管
  6. 排水管道（自然下落 或,强制排放）

选配

  1. 臭氧水增压单元
  2. 药剂注入单元
  3. 二氧化碳加添装置
  4. 节水装置

型号标记

型式記号サンプル
  1. 电解臭氧水制造装置（POW）
  2. 臭氧水浓度 例：10mg/L→10、20mg/L→20、60mg/L→60
  3. 臭氧水流量 例：10L/min.→10、20L/min.→20、5L/min.→05
  4. 半导体制造装置等级（S）
  5. 不带钢印→标准、P→增压泵内置

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