水处理技术 / 环境负荷降低技术 氯工程株式会社

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电解臭氧气发生装置

特征

  • 稳定供应200g/m3(N)以上的臭氧气
  • 也可提供干燥的臭氧气（同时使用干燥单元）
  • 可自由调节臭氧气发生量

用途

半导体制造领域：CVD用、与药剂混合用作氧化剂

臭氧气发生装置工作流程

臭氧气发生装置工作流程

标准模型数据

机型名称 臭氧浓度
（g/m3(N)）		 臭氧发生量
（g/時）		 外形尺寸
（宽度×长度×高度mm）		 质量
（kg）		 电源容量
（kVA）
POG-24-S 200以上 24以上 600×800×1,500 250 6.8(3φAC200V)
POG-48-S 200以上 48以上 600×800×1,700 350 11.9(3φAC200V)
POG-120-S 200以上 120以上 1,200×1,300×2,000 500 18(3φAC200V)

应用

  1. 电力、（电压、频率的确认）
  2. 纯水（2MΩ・cm以上的超纯水）
  3. 冷却水（23℃±3℃）
  4. 调节用空气（0.5～0.7MPa）
  5. 热排气管
  6. 排水管道（自然下落）

选配

  1. 排出臭氧分解催化剂单元
  2. 臭氧干燥单元（结露点-70℃以下）
  3. 高压臭氧单元（～400kPa）
  4. 环境臭氧监视器

型号标记

型式記号サンプル
  1. 电解臭氧气发生装置(POG)
  2. 臭氧气发生装置（例：4g/hr→04、48g/hr→48、240g/hr→240）
  3. 半导体制造装置等级（S）
  4. 不带钢印→标准

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