水处理技术 / 环境负荷降低技术 氯工程株式会社

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电解氢水制造装置

特征

电解氢水制造装置
  • 制造以超纯水为原料的、洁净的氢水。常温常压下饱和氢浓度达 1.0mg/L以上
  • 在现场、于必要的时间提供必要量的、浓度稳定的高纯度氢水
  • 安全设计，不违反高压气体取缔法中发生压力小于1MPa的规定
  • 排出的氢气在催化剂作用下分解，利用检测器监视氢气是否泄漏，万一氢气泄漏，自动停止装置
  • 可搭载ORP、pH调节用药剂注入泵

用途

  1. 硅片制造领域：平展化后清洗
  2. 半导体制造领域：硅片接货清洗、成膜前清洗、CMP后清洗
  3. LCD制造领域：玻璃基板接货清洗、成膜前清洗
  4. 硬盘制造领域：玻璃基板接货清洗、成膜前清洗

电解氢水制造装置工作流程

电解氢水制造装置工作流程

标准模型数据

機種名 氢水浓度
（％）		 氢水流量
（g/時）		 外形尺寸
（宽度×长度×高度mm）		 质量
（kg）		 电源容量
（kVA）
PHG-60-S 4N ＞5.4 500×600×600 120 1.5(1φAC200V)
PHG-120-S 4N ＞10.8 500×600×800 140 3.0(1φAC200V)

应用

  1. 电力（电压、频率的确认）
  2. 纯水（17MΩ・cm以上的超纯水。水温25℃以下。溶解氧浓度500ppb以下）
  3. 冷却水（23℃±3℃）
  4. 调节用空气（0.5～0.7MPa）
  5. 热排气管
  6. 排水管道（自然下落）

选配

  1. 内置式药剂罐（碱液用）
  2. 内置式药剂注入泵（碱液用）
  3. 内置式自动药剂稀释单元（碱液用）
  4. 自动药剂浓度调节单元（碱液用）
  5. 原料水除气单元
  6. 集中控制功能（设计为需要大量氢水时，与标准机搭配使用，进行集中控制）

型号标记

型式記号サンプル
  1. 电解氢水制造装置（PHW）
  2. 氢水流量 例：10L/min.→600L/hr→600
  3. 半导体制造装置等级（S）
  4. 不带钢印→标准、P→增压泵内置

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