电解氢气发生装置
特征
- 在现场、于必要的时间提供必要量的、浓度稳定的高纯度氢气
- 通过干燥单元提供干燥的氢气
- 安全设计，不违反高压气体取缔法中生成压力小于1MPa的规定
- 还带有安全机构，利用气体检测器监视氢气是否泄漏，万一氢气泄漏，则自动停止装置
电解氢气发生装置工作流程
标准模型数据
| 机型名称 | 氢气浓度 （％） |
氢气发生量 （g/時） |
外形尺寸 （宽度×长度×高度mm） |
质量 （kg） |
电源容量 （kVA） |
|---|---|---|---|---|---|
| PHG-60-S | 4N | ＞5.4 | 500×600×600 | 120 | 1.5(1φAC200V) |
| PHG-120-S | 4N | ＞10.8 | 500×600×800 | 140 | 3.0(1φAC200V) |
应用
- 电力（电压、频率的确认）
- 纯水（2MΩ・cm以上的超纯水。水温25℃以下）
- 调节用空气（0.5～0.7MPa） 4. 热排气管 5. 排水管道（自然下落）
选配
- 氢气干燥单元（结露点－70℃以下）
- 氢气精制单元（6N以上）
- 纯水器（使用自来水作为原料水时）
型号标记
- 电解氢气发生装置（PHG）
- 氢气发生量 例：1L/min.→60, 2L/min.→120
- 半导体制造装置等级（S）
- 不带钢印→标准、D→内置氢气干燥器
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