オゾンガスは、その強い酸化力特性をいかして、殺菌、脱臭、脱色等の目的で、また、オゾンガス自体は、自己分解により酸素になることから、除外装置の簡便化等の利点もあり、多くの分野で利用されております。
具体的な用途としては、
電極間に誘電体を介して高電圧を印加して、空気、もしくは酸素を供給することで、オゾンガスが形成されます。電極構造は、環状型と沿面放電型があり、発生濃度は、印加電圧、冷却方式、電極構造、原料ガス等によって異なりますが、低濃度から高濃度までのオゾンガスの生成が可能です。
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