

| 形式 | CEZONE-012 | CEZONE-016 | CEZONE-024 | CEZONE-050 |
|---|---|---|---|---|
| オゾン発生量 (kg/h) |
1.2 | 1.6 | 2.4 | 5.0 |
| オゾンガス濃度 (g/m3) |
87.5(nor)(6wt%) | |||
| オゾン化酸素流量 (m3/h) |
14.0 | 18.5 | 28.0 | 57.5 |
| 供給酸素圧力 (MPaG) |
0.30 | |||
| オゾン化酸素圧力 (MPaG) |
0.12 | |||
| オゾン発生方式 | 無声放電 | |||
| 冷却方式 | 冷水 | |||
| 冷却水出入温度 | 12℃ / 17℃ | |||
| オゾン発生量 制御方式 |
オゾン濃度による発生量演算フィードバック方式 | |||
| 酸素供給装置 | PSA方式酸素発生装置 | |||
| 電源 | 三相440V ±10%, 50/60Hz |
|---|---|
| 原料酸素 | ガス組成 酸素: min. 90wt%, max 93wt% 窒素: min. 2.0wt% |
| ハイドロカーボン: ≦ 15ppb | |
| 露点: ≦ -65℃ 大気圧換算 | |
| 圧力: 0.3MPaG ±5kPaG | |
| 温度: ≦ 40℃ | |
| ダスト粒子径: ≦ 0.1µm | |
| 冷却水 | 温度: 入口 12℃ ±2℃ / 出口 17℃ ±2℃ |
| 圧力: 入口 0.15MpaG / 出口 0.1MPaG | |
| 水質: イオン交換水或いは純水 | |
| 電導度: ≦ 1.0µS/cm |