水処理・環境負荷低減技術の電解専門メーカー クロリンエンジニアズ株式会社

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電解オゾン水・電解水素水製造装置

特長

  • オゾン水、水素水製造装置のメリットを同時に又は単独で利用が可能
  • コンパクト化により二つの機能をミニマムのコストで実現
  • フレキシブルな流量、濃度の調整可能

電解オゾン水・水素水製造装置プロセス

図：電解オゾン水・電解水素水製造装置プロセス

標準モデルデータ

機種名 オゾン
水濃度
（mg/L）		 オゾン
水流量
（L/min.）		 水素水
濃度
（mg/L）		 水素水
流量
（L/min.）		 外形寸法
（巾×奥行×高さmｍ）		 質量
（kg）		 電源容量
（kVA）
POHW-101010-S 10 10 ＞1 10 900
×1,000
×1,900		 650 5.4
(3φ AC200V)
POW-201010-S 20 10 ＞1 10 900
×1,000
×1,900		 700 11.9
(3φ AC200V)

ユーティリティ

  1. 電力（電圧、周波数の確認）
  2. 純水（17MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下。溶存酸素濃度500ppb以下。含有過酸化水素濃度50ppb以下）
  3. 冷却水（23℃±3℃）
  4. 制御エアー（0.5～0.7MPa）
  5. 排気ダクト
  6. 排水ライン（自然落下または強制排出）

オプション

  1. オゾン水昇圧ユニット
  2. オゾン水昇圧ユニット

型式記号

型式記号サンプル
  1. 電解オゾン水製造装置（POHW）
  2. オゾン水濃度 例：10mg/L→10、20mg/L→20、
  3. オゾン水流量 例：10L/min.→10、20L/min.→20、
  4. 水素水流量 例：10L/min.→10、70L/min.→70
  5. 半導体製造装置グレード（S）
  6. 無印→標準、P→ブースターポンプ内蔵

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