水処理・環境負荷低減技術の電解専門メーカー クロリンエンジニアズ株式会社

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電解オゾンガス発生装置

特長

  • 200g／m3(N)以上のオゾンガスを安定供給
  • ドライオゾンガスの供給も可能（乾燥ユニット併用）
  • 自由にオゾンガス発生量調整可能

用途

半導体製造分野：CVD用、薬液に混合し酸化剤として利用

オゾンガス発生装置プロセス

図：オゾンガス発生装置プロセス

標準モデルデータ

機種名 オゾンガス
濃度
（g/m3(N)）		 オゾンガス
発生量
（g/時）		 外形寸法
（巾×奥行×高さmｍ）		 質量
（kg）		 電源容量
（kVA）
POG-24-S 200以上 24以上 600×800×1,500 250 6.8(3φAC200V)
POG-48-S 200以上 48以上 600×800×1,700 350 11.9(3φAC200V)
POG-120-S 200以上 120以上 1,200×1,300×2,000 500 18(3φAC200V)

ユーティリティ

  1. 電力、（電圧、周波数の確認)
  2. 純水（2MΩ・cm以上の超純水）
  3. 冷却水（23℃±3℃）
  4. 制御エアー（0.5～0.7MPa）
  5. 熱排気ダクト
  6. 排水ライン（自然落下）

オプション

  1. 排オゾンガス分解触媒ユニット
  2. オゾンガス乾燥ユニット（露点－70℃以下）
  3. 高圧オゾンガス発生ユニット（～400kPa）
  4. 環境オゾンモニタ

型式記号

型式記号サンプル
  1. 電解オゾンガス発生装置（POG）
  2. オゾンガス発生量（例：4g/時→04、48g/時→48、240g/時→240）
  3. 半導体製造装置グレード（S）
  4. 無印→標準

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