水処理・環境負荷低減技術の電解専門メーカー クロリンエンジニアズ株式会社

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電解水素ガス発生装置

特長

写真：電解水素ガス発生装置
  • オンサイトで必要な時に必要な量の安定した濃度の高純度水素ガスを供給
  • 乾燥ユニットによりドライ水素ガスも供給
  • 発生圧力1MPa以下の高圧ガス取締法に該当しない安全設計
  • 万一の水素漏れもガス検知器で検知し、装置を自動停止する安全機構付

電解水素ガス発生装置プロセス

図：電解水素ガス発生プロセス

標準モデルデータ

機種名 水素ガス純度
（％）		 水素ガス発生量
（g/時）		 外形寸法
（巾×奥行×高さmｍ）		 質量
（kg）		 電源容量
（kVA）
PHG-60-S 4N ＞5.4 500×600×600 120 1.5(1φAC200V)
PHG-120-S 4N ＞10.8 500×600×800 140 3.0(1φAC200V)

ユーティリティ

  1. 電力（電圧、周波数の確認）
  2. 純水（2MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下）
  3. 制御エアー（0.5～0.7MPa）
  4. 熱排気ダクト
  5. 排水ライン（自然落下）

オプション

  1. 水素ガス乾燥ユニット（露点－70℃以下）
  2. 水素ガス精製ユニット（6N以上）
  3. 純水器（原料水に水道水を使用する場合）

型式記号

型式記号サンプル
  1. 電解水素ガス発生装置（PHG）
  2. 水素ガス発生量 例：1L/min.→60, 2L/min.→120
  3. 半導体製造装置グレード（S）
  4. 無印→標準、D→水素ガス･ドライヤー内蔵

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