水処理・環境負荷低減技術の電解専門メーカー クロリンエンジニアズ株式会社

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機能水とは

当社における機能水とは、「電解技術などにより、オゾンや水素などを成分として含有させ機能を持たせた水溶液」です。当社製品の電解機能水製造装置は、超純水を電解し、オゾン水や水素水など機能水を製造する装置です。

電解機能水製造装置で製造されるオゾン水や水素水などの機能水は、液晶ガラス基板、ウエハー等のエレクトロニクスデバイス製造の各分野での洗浄工程で使用されています。

機能水はその酸化力や還元力を利用した、

  • 「無公害性」:薬品を使用しない洗浄方式
  • 「簡便性」:大型の洗浄装置用装置ではないので、その設置スペースも小さく、配置も自由度が高い
  • 「クリーン度の高さ」:超純水から生成するため、不純物が殆どない

が評価されております。

電解機能水製造装置は、2005年に当社と事業統合しました株式会社ピュアトロンの機能水製造装置の開発・製造ノウハウを活かし、当社で更に進化を遂げたRCA洗浄に変わる環境にやさしい装置として、環境社会へ貢献するとともに、多様化するニーズに応えていきます。

各種機能水の機能:様々な用途で幅広く使用

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